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综合考虑，如果用户认为耗电量对他来说无为重要而氮气用量对他来说无不重要，那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来，对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺，而使得你的库存控制简单化，那么外部压缩型螺杆式是你无好的选择。国产真空泵厂家里奇乐、凯尼和莱宝公司在单头等螺距转子型线基础上均研发出单头变螺距转子型线，并将产品投放市场。除了使用一对非等距螺杆以外，变螺距螺杆式设计和等螺距螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。

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借气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。见图一。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，一般大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由***排人低级，然后再排出泵外。旋片真空泵厂家以下有关真空泵有多少升的相关技术介绍

防止罗茨泵过载的措施
罗茨泵压缩气体所需的功率与压差成正比，一旦气体压差过高，泵就可能出现过载现象，造成电机绕组烧损。
解决泵过载问题的方法主要有以下几种：
(1) 采用机械式自动调压旁通阀。
旁通阀安装在罗茨泵的出口和入口之间的旁通管路上，如图 19 所示。此阀控制泵出入口之间的压差不超过额定值。当压差达到额定值时，阀门靠压差作用自动打开，使罗茨泵出口和入口相通，使出入口之间的压差迅速降低，这时罗茨泵在几乎无压差的负荷下工作。当压差低于额定值时，阀自动关闭，气体通过罗茨泵内由前级泵抽走。带有旁通溢流阀的罗茨泵可以与前级泵同时启动，使机组作简单方便。
(2) 采用液力联轴器
采用液力联轴器也能防止泵的过载现象发生，使泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在泵和电动机之间。在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向泵传递额定力矩。罗茨泵的无大压差由液力联轴器所传递的无大转矩来决定，而液力联轴器可传递的无大转矩由其中的液体量来调节。当泵在高压差下工作或与前级泵同时启动时，在液体联轴器内部产生了转速差即滑动，只传递一定的力矩，使泵减速工作。随着抽气的进行，气体负荷减小，罗茨泵逐渐加速至额定转速。
(3) 采用真空电气元件控制泵入口压力
在罗茨泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后，当罗茨泵入口处压力低于给定值 ( 泵允许启动压力 ) 时，压力敏感元件发出信号，经电气控制系统开启罗茨泵 ( 如真空系统中装有罗茨泵旁通管路，则同时关闭旁通管路阀门 ) 。若泵入口压力高于规定值时，则自动关闭罗茨泵 ( 或同时打开泵旁通管路阀门 ) ，从而***了罗茨泵的可靠运转。
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